處理測(cè)力傳感器的工藝有哪些？

由于彈性元件在毛坯鍛造、機(jī)械加工、熱處理、表面打磨、電阻應(yīng)變計(jì)粘貼和加壓固化等工藝過程中產(chǎn)生各種殘余應(yīng)力，隨著時(shí)間和使用條件的變化不斷松弛釋放，而造成壓力傳感器的性能波動(dòng)，主要表現(xiàn)在零點(diǎn)和靈敏度不穩(wěn)定。

為使測(cè)力傳感器在生產(chǎn)過程中渡過初始不穩(wěn)定期，采用工藝手段模擬各種使用條件進(jìn)行試驗(yàn)，使其盡快穩(wěn)定的工藝稱為穩(wěn)定性處理，也稱人工老煉試驗(yàn)。測(cè)力傳感器釋放殘余應(yīng)力的穩(wěn)定性處理方法，除制造工藝流程中常用的溫度老化和電老化處理外，主要有兩種方法，即熱處理法和機(jī)械法。

1、熱處理法

多應(yīng)用于鋁合金測(cè)力傳感器，在毛坯加工成彈性元件后進(jìn)行，主要有反淬火法、冷熱循環(huán)法和恒溫時(shí)效法。

（1）反淬火法

國(guó)內(nèi)也稱深冷急熱法。將鋁合金彈性元件置于-196℃的液氮中，保溫12小時(shí)后，迅速用新生的高速蒸汽噴射或放入沸水之中。因深冷與急熱產(chǎn)生的應(yīng)力方向相反而相互抵消，達(dá)到釋放殘余應(yīng)力的目的。試驗(yàn)表明，采用液氮———高速蒸汽法可降低殘余應(yīng)力84%，采用液氮———沸水法可降低殘余應(yīng)力50%。

（2）冷熱循環(huán)法

冷熱循環(huán)穩(wěn)定性處理工藝為-196℃×4小時(shí)/190℃×4小時(shí)，循環(huán)3次，可使殘余應(yīng)力下降90%左右，并且組織結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，微量塑性變形抗力高，尺寸穩(wěn)定性好。釋放殘余應(yīng)力的效果如此明顯，一是因?yàn)榧訜釙r(shí)原子熱運(yùn)動(dòng)能量增加，點(diǎn)陣畸變減小或消失，內(nèi)應(yīng)力下降，上限溫度越高，原子熱運(yùn)動(dòng)越大塑性越好，越有利于殘余應(yīng)力釋放。二是因?yàn)槔錈釡囟忍荻犬a(chǎn)生的熱應(yīng)力與殘余應(yīng)力相互作用，使其重新分布而獲得殘余應(yīng)力下降的效果。

（3）恒溫時(shí)效法

恒溫時(shí)效即可處理機(jī)械加工產(chǎn)生的殘余應(yīng)力，又能處理熱處理引入的殘余應(yīng)力。LY12硬鋁合金在200℃高溫下恒溫時(shí)效時(shí)，殘余應(yīng)力釋放與時(shí)效時(shí)間關(guān)系表明，保溫24小時(shí)，可使殘余應(yīng)力下降50%左右。

2、機(jī)械法

機(jī)械法穩(wěn)定性處理，多在測(cè)力傳感器電路補(bǔ)償與調(diào)整和防護(hù)密封后，基本形成產(chǎn)品時(shí)進(jìn)行。主要工藝有脈動(dòng)疲勞法、超載靜壓法和振動(dòng)時(shí)效法。

（1）脈動(dòng)疲勞法

將測(cè)力傳感器安裝在低頻疲勞試驗(yàn)機(jī)上，施加上限為額定載荷或120%額定載荷，以每秒3～5次的頻率進(jìn)行5000～10000次的循環(huán)?？捎杏玫尼尫艔椥栽?、電阻應(yīng)變計(jì)、應(yīng)變粘結(jié)劑膠層的殘余應(yīng)力，提高零點(diǎn)和靈敏度穩(wěn)定性的效果較為明顯。

（2）超載靜壓法

理論上適用于各種量程，但在實(shí)際生產(chǎn)中以鋁合金小量程測(cè)力傳感器應(yīng)用較多。

其工藝是：在專門用的標(biāo)準(zhǔn)砝碼加載裝置中或簡(jiǎn)易的機(jī)械螺旋加載設(shè)備上，對(duì)測(cè)力傳感器施加125%額定載荷，保持4～8小時(shí)，或施加110%額定載荷，保持24小時(shí)，兩種工藝都可以達(dá)到釋放殘余應(yīng)力，提高零點(diǎn)和靈敏度穩(wěn)定性的目的。由于超載靜壓工藝所用設(shè)備簡(jiǎn)單，成本低，效果好，為鋁合金測(cè)力傳感器制造企業(yè)廣泛采用。

（3）振動(dòng)時(shí)效法將測(cè)力傳感器安裝在額定正弦推力滿足振動(dòng)時(shí)效要求的振動(dòng)臺(tái)上，根據(jù)稱重傳感器的額定量程估算頻率，來決定施加的振動(dòng)載荷、工作頻率和振動(dòng)時(shí)間。共振時(shí)效比振動(dòng)時(shí)效釋放殘余應(yīng)力的效果更加好，但須測(cè)量出測(cè)力傳感器的固有頻率。振動(dòng)時(shí)效和共振時(shí)效工藝的特點(diǎn)是：能耗低，周期短，效果好，不損壞彈性元件表面，而且操作簡(jiǎn)單。振動(dòng)時(shí)效的機(jī)理，目前尚無定論。國(guó)外專家提出的理論和觀點(diǎn)有：塑性變形理論、疲勞理論、晶格錯(cuò)位滑移理論、能量觀點(diǎn)及材料力學(xué)觀點(diǎn)等。