MEMS加速度計(jì)是MEMS領(lǐng)域較早開(kāi)始研究的力傳感器之一。經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展,MEMS加速度傳感器的設(shè)計(jì)和加工技術(shù)已經(jīng)日趨成熟。根據(jù)敏感機(jī)理不同,MEMS加速度傳感器可以分為壓阻式、熱流式、諧振式和電容式等。壓阻式MEMS加速度傳感器容易受到壓阻材料影響,溫度效應(yīng)嚴(yán)重、靈敏度低,橫向靈敏度大,精度不高。熱流式加速度計(jì)受傳熱介質(zhì)本身的特性限制,器件頻率響應(yīng)慢、線性度差、容易受外界溫度影響。因此,熱流式和壓阻式加速度計(jì)主要用于對(duì)精度要求不高的民用領(lǐng)域或軍事領(lǐng)域中的高值測(cè)量。諧振式微加速度計(jì)理論上可以達(dá)到導(dǎo)航級(jí)的精度,但目前技術(shù)狀態(tài)還達(dá)不到實(shí)用化。而電容式硅微加速度計(jì)由于精度較高、技術(shù)成熟、且環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng),是目前技術(shù)較為成熟、應(yīng)用較為廣泛的MEMS加速度計(jì)。隨著MEMS加工能力提升和ASIC電路檢測(cè)能力提高,電容式MEMS加速度傳感器的精度也在不斷提升。
MEMS慣性傳感器的研究成果對(duì)于物體的制導(dǎo)、導(dǎo)航,各類(lèi)型交通工具的自動(dòng)駕駛以及各種智能穿戴設(shè)備的應(yīng)用具有重要意義。
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